半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過 程中使用了大量有機(jī)和無(wú)機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
一些半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)，如美國(guó)、德國(guó)和臺(tái)灣等，都針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)制訂了相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。
上海早于2006年就頒 布了《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31/ 374-2006），對(duì)于督促企業(yè)采用國(guó)際先進(jìn)生產(chǎn) 技術(shù)和治理措施，推行清潔生產(chǎn)技術(shù)，提高污染控制水平，起到了積極作用。 旁邊的江蘇省環(huán)境保護(hù)廳于 2015 年正式下達(dá)了《江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》制定任務(wù)，目前正在征求意見中。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。 在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。目前，針對(duì)這種氣體排放，一 般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。?
但固體吸附劑的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設(shè)備龐大，且吸附后吸附劑需要再生處理，是吸附處理的主要缺點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)場(chǎng)所揮發(fā)出來的有機(jī)廢氣通過局部排風(fēng)罩收集，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活性炭作為吸附劑。因?yàn)榛钚蕴渴欠菢O性吸附劑，對(duì)廢氣中水蒸氣的靈敏度不高，且價(jià)格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)處理各種有機(jī)廢氣，通過熱氧化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水。同時(shí)，焚燒對(duì)處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流經(jīng)過加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為節(jié)省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對(duì)進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)于處理大流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2，且SiO2會(huì)使催化劑鈍化，因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法。
一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機(jī)廢氣，如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時(shí)）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪，其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物，并使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物，這種低流量、高濃度的氣流能很好地被氧化。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個(gè)缺點(diǎn)是它對(duì)甲醇親和力較差，去除率僅為 40-60％。
總而言之，廢氣治理方面，半導(dǎo)體行業(yè)酸、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進(jìn)行處理，工藝方法已非常成熟，只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù)，能夠滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求，需要關(guān)注的有機(jī)廢氣的處理。目前處理有機(jī)廢氣的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好，但是運(yùn)營(yíng)成本會(huì)很高；吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣；直接燃燒法適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣治理；冷凝法適用于成分相對(duì)單一、濃度高、且有一定回收價(jià)值的有機(jī)廢氣。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風(fēng)量、成分復(fù)雜的有機(jī)廢氣，吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒，該方法適用于大風(fēng)量、低濃度、常溫的有機(jī)廢氣處理，凈化效率達(dá)到90％以上，濃縮比達(dá)20﹕1，運(yùn)行費(fèi)用較低，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實(shí)際運(yùn)行情況，有機(jī)廢氣進(jìn)氣濃度在200mg/m3以上時(shí)，處理效率達(dá)到95%；200mg/m3以下時(shí)處理 后濃度控制在20mg/m3，可保證廢氣達(dá)標(biāo)排放。
內(nèi)容參考江蘇省生態(tài)環(huán)境廳相關(guān)文件